蔡司三坐标测量机测头校准是测量过程中非常关键的一步。测头校准通常使用标准球进行，虽然红宝石是常用的三坐标测量机校准球材料，但在接触扫描测量时，其他材料可能更适合使用。校准球沿着工件表面滑动时，会因摩擦而磨损。在某些情况下，长期接触可能会导致校准球材料从球上磨损或工件材料附着在校准球上。无论哪种情况，都会影响校准球的圆度。当校准球的某一部分与工件保持频繁接触时，圆度误差会逐渐增大。
扫描测量某些材料表面时，可能会导致磨粒磨损。这些微小颗粒的残留可能会划伤三坐标测量机校正球和工件表面，从而在校正球上形成微小的“平面”。对于这类测量，蔡司三坐标测量机校正球是一个不错的选择，因为它的硬度更高。粘着磨损通常发生在蔡司三坐标测量机校正球材料与工件材料具有化学亲和力的情况下。在用人造红宝石三坐标测量机校正球扫描测量铝件时，这种情况比较常见，因为人造红宝石的主要成分是氧化铝。从相对较软的铝件上转移至三坐标测量机校正球上的材料可能形成一层“涂层”，从而降低三坐标测量机校正球的圆度精度。在这种情况下，氮化硅三坐标测量机校正球是更好的选择，因为这种材料具有良好的耐磨性，并且对铝没有亲和力。